Monitor tloušťky depozice vrstev

Monitory tloušťky vrstvy během depozice

vícekanálové monitory, senzorové průchodky, krystalové snímače, oscilátory, kabely a příslušenství

Nor-Cal Products

Všeobecná charakteristika

Společnost Nor-Cal Product, Inc. nabízí kompaktní systém pro měření tloušťky depozice vrstev. Tento systém je vhodný zejména pro polovodičový a optický průmysl. Piezoelektrickým principem lze měřit vrstvy od 0,1 nm, zobrazení naměřených hodnot je prostřednictvím jednoduchého monitoru umožňující jejich výstup na PC.

Monitory tloušťky vrstvyVícekanálové monitory

dvou a vícekanálové monitory tloušťky depozice vrstvy

 

katalogový list

Oscilátory úpravu signáluOscilátor

oscilátor pro úpravu signálu z čidla k monitoru depozice vrstvy

 

katalogový list

Krystalové průchodkySenzorové průchodky

senzorové průchodky se šroubením nebo CF přírubou

 

katalogový list

Krystalové senzoryKrystalové senzory

jednoduché, duální a vypékatelné senzory pro měření depozice

 

katalogový list

Propojovací kabelyPropojovací kabely a konektory

propojovací kabely, kabelové redukce a konektory

 

katalogový list

Krystaly a příslušenstvíKrystaly a příslušenství

náhradní krystaly pro senzory a další příslušenství

 

katalogový list

Monitory tloušťky depozice vrstev

  • kompaktní rozměry (212,85 mm x 88,9 mm x 196,85 mm)
  • měření piezoelektrickým principem
  • volba dvou nebo šesti vstupů pro senzory
  • alfanumerický LED displej
  • konektor RS 232 pro propojení s PC
  • podpora MS Windows
  • export dat do tabulkového programu
  • pro frekvence 6.0 až 4.0 MHz (rozlišení 0,1 Hz)
  • měření tlouštěk od 0,1 nm

Oscilátory

  • Pro úpravu signálu z čidla k monitoru
  • Připojení BNC konektory
  • Měření v rozsahu teplot 10 až 40 °C
  • Pro frekvence 6.0 až 4.0 MHz

Senzorové průchodky

  • vakuové spojení mezi krystalovým snímačem a oscilátorem
  • materiál korozivzdorná ocel 304
  • ve variantě pro CF a NW příruby
  • připojení vstup Microdot, výstup BNC konektor
  • pracovní podmínky: teplota do +150 °C, tlak do 10-9 mbar (HV)

Krystalové senzory

  • ke snímání tloušťky depozice vrstev
  • jednoduché krystalové senzory pro krátké běhy snímání
  • duální krystalové senzory pro delší běhy snímání
  • možnost jejich chlazení kapalným médiem
  • krystal 6 MHz, ze zlaté nebo hliníkové slitiny
  • tělo z korozivzdorné oceli 304
  • pracovní podmínky: tlak až do 10-9 mbar (HV), vypékatelné provedení až do teplot 300 °C

Systém měření depozice vrstev

výběr skla průzoru

Dokument

Jazyk

Přehledový leták Nor-Cal CS Flag
Přehledová brožura Nor-Cal EN flag
Kompletní katalog Nor-Cal EN flag