Vícestupňové LPCVD-TEOS odlučovače

Jedno a vícestupňové odlučovače

jedno a více stupňové odlučovače pro LPCVD a TEOS procesy

Nor-Cal Products

Všeobecná charakteristika

Společnost Nor-Cal Products, Inc. vyrábí jedno a více stupňové odlučovače pro zvýšení životnosti vakuového systému a prodloužení intervalu údržby vakuových pump u LPCVD (liquid power chemical vapor destilation) a TEOS (tetra ethyl-ortho silicate) procesů. U vícestupňových odlučovačů vakuum prochází v prvním stupni přes kovovou gázu odstraňující krystalizující fáze TEOS, ve druhém stupni přes skleněné vlákno odstraňující oxid křemičitý a přes třetí, poslední stupeň, kde se shromažďují tekuté fáze TEOS. Všechny jedno a více stupňové odlučovače Nor-Cal mají demontovatelní dvoudílné tělo pro snadnou údržbu.

Jednostupňový odlučovač pro LPCVD a TEOS procesy.Jednostupňový LPCVD-TEOS odlučovač

odlučovač s jedním stupněm filtrace

 

katalogový list

Dvoustupňový odlučovač pro LPCVD a TEOS procesy.Dvoustupňový LPCVD-TEOS odlučovač

odlučovač se dvěma stupni filtrace

 

katalogový list

Třístupňový odlučovač pro LPCVD a TEOS procesy.Třístupňový LPCVD-TEOS odlučovač

odlučovač se třemi stupni filtrace

 

katalogový list

Filtrační vložky pro LPCVD-TEOS odlučovače

náhradní filtry pro vícestupňové odlučovače

 

katalogový list

Průvodce výběrem odlučovače

Typ odlučovače S kovovou buničinou Molekulární Chladící Částicový
Filtrační materiál Nerezová ocel Měď Zeolit LN2 H2O  Polyester Skelné vlákno
Olej •• •• •• •••
Vodní pára •• •••
Organické složky ••  
Kyselinové výpary ••
Částice < 149 °C      ••• •••
Částice < 370 °C     •••
Páry kondenzující za nízkého tlaku  ••  ••  •••  •••
Páry kondenzující za vysokého tlaku      •••  

Legenda

  odlučovač není pro tuto aplikaci vhodný
•  odlučovač lze pro danou aplikaci použít
••  odlučovač je pro danou aplikaci vhodný
•••  odlučovač je pro danou aplikaci nejvhodnější

Formulář pro výběr odlučovače

Downstream-Solutions-Questionnaire.pdf

Dokument

Jazyk

Přehledový leták Nor-Cal CS Flag
Přehledová brožura Nor-Cal EN flag
Kompletní katalog Nor-Cal EN flag